低温等离子的介质阻挡放电生产方法是什么

发布时间：

2021-08-14

低温等离子的生产方法介质阻挡放电是一种将绝缘介质插入放电空间的非平衡气体放电，也称为介质阻挡电晕放电或无声放电。介质阻挡放电可在高压、宽频率范围内工作，正常工作压力为10~10，电源频率为50Hz~1MHz。

　　低温等离子的生产方法介质阻挡放电是一种将绝缘介质插入放电空间的非平衡气体放电，也称为介质阻挡电晕放电或无声放电。介质阻挡放电可在高压、宽频率范围内工作，正常工作压力为10~10，电源频率为50Hz~1MHz。在两个放电电极之间填充一定的工作气体，一个或两个电极上覆盖绝缘介质。介质也可以直接悬浮在排放空间中或填充颗粒介质。

　　低温等离子的介质阻挡放电通常由正弦波交流高压电源驱动，随着供电电压的升高，系统中反应气体的状态将经历三个阶段，即从绝缘状态逐渐转变为击穿状态，最后放电。当电源电压相对较低时，虽然有些气体会有一些电离和自由扩散，但含量太小，电流太小，无法使反应区中的气体发生低温等离子体反应。此时，电流为零。随着电源电压的逐渐增加，反应区内的电子也随之增加。然而，当未达到反应气体的击穿电压时，两个电极之间的电场相对较低，不能为电子提供足够的能量使气体分子发生非弹性碰撞。缺乏非弹性碰撞导致电子数量大量增加。因此，反应气体仍处于绝缘状态，无法产生放电。此时，电流随电极施加电压的增加而略微增加，但几乎为零。如果电源电压持续增加，当两个电极之间的电场大到足以引起气体分子的非弹性碰撞时，由于低温等离子的非弹性碰撞，气体将大大增加。当空间电子密度高于某一临界值和帕辛击穿电压时，在两极之间会有许多微放电丝导通，系统中可以观察到明显的发光现象。此时，电流将随着外加电压的增加而迅速增加。

　　在介质阻挡放电中，当击穿电压超过pashing(击穿电压)时，间隙中会出现大量随机分布的微放电。这种放电的外观特征类似于低压辉光放电，并发出近蓝光。近距离观察，它由大量细丝形式的快速脉冲放电组成。只要电极之间的气隙均匀，放电就均匀、扩散和稳定。这些微放电由大量的快脉冲电流丝组成，每个电流丝在放电空间和时间上分布不规则。放电通道基本为圆柱形，半径约为0.1~0.3mm，放电持续时间很短，约为10~100ns，但电流密度可高达0.1~1ka/cm。每个电流灯丝都是一个微放电，它扩散到电介质表面的表面放电中，并呈现为亮点。


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